新聞資訊 / News
熱銷產(chǎn)品 / Hot Products
最新資訊 / Latest Products
全國統(tǒng)一銷售熱線
0755-85258900
0755-85258903
0755-84656505
0755-84656716
成功案例
半導(dǎo)體行業(yè)有毒氣體檢測儀解決方案-深國安百科
行業(yè)背景：
目前芯片蝕刻是我國半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵技術(shù)之一，芯片蝕刻主要是利用化學(xué)反應(yīng)來蝕刻掉芯片表面不需要的部分，以實現(xiàn)芯片電路的制造。以常見的干法等離子體蝕刻為例，主要是使用了具有等離子放電特性的電子特氣，但是這些電子特氣一般都是屬于對人體有毒有害的氣體，濃度過高時極易危害人體健康。
那么芯片蝕刻工藝危險有害氣體有哪些呢?一般而言，主要包括氯化氫HCL、氟化氫HF、溴化氫HBr等，而在現(xiàn)場安裝使用芯片廠蝕刻區(qū)有害氣體檢測儀就是為了對這些氣體進行監(jiān)測，以免發(fā)生危險。
芯片干法等離子蝕刻工藝危險有毒氣體主要有以下幾種：
1.氯化氫HCL
氯化氫是無色有刺激性氣味的氣體，分子式為HCL，一般為鹽酸揮發(fā)的蒸氣，屬于對人體有毒有害的氣體。氯化氫對人體的影響分為急性中毒和慢性損害。急性中毒多見于意外事故中，主要表現(xiàn)為頭痛、頭昏、惡心、咽痛、眼痛、咳嗽、聲音嘶啞、呼吸困難、胸痛、胸悶，有的有咯血。嚴(yán)重者可引起化學(xué)性肺炎、肺水腫、肺不張等病癥。長期在超過 15mg/m3 度的環(huán)境下操作，會造成牙酸蝕癥、慢性支氣管炎等慢性病變。
2.溴化氫HBr
溴化氫在常溫常壓狀態(tài)下是無色有刺激性氣味的氣體，分子式為HBr，具有非常強的吸濕性，接觸空氣即產(chǎn)生無色透明至淡黃色煙霧，生成強腐蝕性的氫溴酸，屬于對人體有毒有害的氣體，職業(yè)接觸限值MAC為10mg/m3。溴化氫可引起皮膚、粘膜的刺激或灼傷。長期低濃度接觸可引起呼吸道刺激癥狀和消化功能障礙。
3.氟化氫HF
氟化氫在常溫常壓狀態(tài)下是無色有刺激性氣味的氣體，分子式為HF，具有非常強的吸濕性，接觸空氣即產(chǎn)生白色煙霧，生成強腐蝕性的氫氟酸，屬于對人體有毒有害的氣體。氟化氫對皮膚、黏膜有腐蝕刺激作用，其慢性影響有嗅覺減退、上呼吸道慢性炎癥等，長期低濃度接觸氟化氫氣體可引起干燥性或萎縮性鼻炎、咽炎和慢性支氣管炎，長期接觸無機氟化物，常見有眼、上呼吸道、皮膚出現(xiàn)刺激癥狀和慢性炎癥,神經(jīng)衰弱綜合癥。
半導(dǎo)體行業(yè)有毒氣體儀檢測儀解決方案：
在整個芯片干法等離子蝕刻工藝過程中卻存在著包括氯化氫HCL、氟化氫HF、溴化氫HBr等在內(nèi)的危險有害氣體，為了防止這些芯片干法等離子蝕刻氣體泄漏造成危險事故，需要在現(xiàn)場布設(shè)固定式有毒氣體檢測儀來實現(xiàn)24小時不間斷連續(xù)實時在線監(jiān)測這些芯片干法等離子蝕刻氣體的濃度值，當(dāng)檢測氣體超標(biāo)，則會報警自動聯(lián)鎖風(fēng)機電磁閥啟停，排除險情。
布設(shè)方案說明：
1.SGA-501固定式有毒氣體檢測儀單機使用
傳統(tǒng)大多數(shù)固定式有毒氣體檢測儀都具備聲光報警功能，可以在每個芯片生產(chǎn)車間現(xiàn)場環(huán)境布設(shè)獨立氣體監(jiān)測點，不過注意單機儀器需要搭配一個電源適配器應(yīng)用;這是目前常規(guī)最為常見的一種檢測方式。
固定式有毒氣體檢測儀建議用戶一般選配帶無線傳輸功能，可以通過GPRS方式連接物聯(lián)網(wǎng)平臺，綁定PC端或者手機端，即可實時查看，分析或?qū)С霰O(jiān)測數(shù)據(jù);或者用戶可通過物聯(lián)網(wǎng)平臺接收短信、微信、郵箱、語音等方式接收報警信息，提醒相關(guān)人員進行相應(yīng)措施處理。
如有多種氣體檢測需求，推薦可以選用SGA-504系列固定四合一有毒氣體檢測儀，該款產(chǎn)品同時檢測氯化氫HCL、氟化氫HF、溴化氫HBr、溴氣等多種有毒氣體的濃度值，氣體超標(biāo)聲光報警，內(nèi)置繼電器，可自動聯(lián)動控制排氣風(fēng)機的啟停。SGA-504系列固定四合一有毒有害氣體檢測儀配備工業(yè)級鋁合金防護外殼，堅固耐用;2.4英寸超大屏幕，完美顯示目標(biāo)氣體、濃度、單位、指示燈工作狀態(tài)等各項參數(shù);中英文、繁體，操作界面，適合所有人群;國外原裝進口傳感器，具備精度高、穩(wěn)定性強、誤差率低等特點;支持多種信號傳輸，兼容90%以上廠家的氣體報警控制器、PLC、DCS、DDC等上位機系統(tǒng)。
2.固定式有毒氣體檢測儀搭配報警主機應(yīng)用
固定式有毒氣體檢測儀安裝布設(shè)總線制RS485或者4-20mA分線制監(jiān)測系統(tǒng)，氣體報警主機用途是可以用于連接多個氣體檢測儀器，方便統(tǒng)一查看監(jiān)測數(shù)據(jù)。目前雖然氣體檢測儀也可以獨立安裝，但是如果定點探測器安裝太多，是非常不便于管理。另外，你可以通過信號傳輸線連接所有的氣體檢測儀到控制報警主機，并將主機安裝在監(jiān)視室，如果檢測氣體濃度異常，控制器主機也會發(fā)出報警,聯(lián)動電閥或排氣扇、噴霧系統(tǒng)等外圍設(shè)備。值班室工作人員也可以通過控制器準(zhǔn)確地找到泄漏點的位置，并及時處理現(xiàn)場問題。
